超精机刚调完导轨，游隙怎么算才靠谱

最近厂里新到一台数控超精机，设备厂家调完说游隙控制在3-8μm，振荡频率40次/分，振幅3mm。我们平时都是磨工凭手感塞尺量游隙，换这设备后公差带全是设备自动给的，但今天质检说成品游隙散差太大，跨度从5到15都有，返工率顶到20%。

想问问有没有用类似设备的，振荡频率、振幅、油石粒度跟游隙散差到底啥关系？我们现在用的是W20油石，振荡频率是不是给得太低了？还是说导轨刚度这块本身就影响出刀量？麻烦懂行的说说经验值。