油石粒度选错了还是手法不对？套圈超精后波纹度一直下不来

深沟球轴承6205的内外圈，超精用的是280#油石，转速3000r/min左右，振荡频率按设备默认没改。之前一直用同粒度干得挺稳，最近一批波纹度老是卡在0.4μm下不来，表面粗糙度Ra倒是没问题。

想着是不是该把油石换成320#试？但又怕把粗糙度拉崩。有没有干超精的老师傅说说，粒度、压力、振荡这几个怎么搭比较合理，最好带点具体数值参考下。